有些真空工藝會(huì )產(chǎn)生大量的灰塵，如果灰塵隨被抽氣體進(jìn)入油封真空泵內混在泵油中，會(huì )像研磨劑一樣加速泵腔內零件的磨損，對泵轉子和泵腔造成磨損和破壞，堵塞油路或使泵無(wú)法運行，如果灰塵進(jìn)入真空閥門(mén)則會(huì )使密封失效而泄漏，因此塵埃的防止和過(guò)濾己成為延長(cháng)真空系統的使用壽命，提高生產(chǎn)率的關(guān)鍵問(wèn)題，在有塵埃的真空系統中，必須采用塵埃過(guò)濾器。
在灰塵量較少時(shí)，可以由泵油過(guò)濾系統濾除，但灰塵量較大時(shí)，為防止真空泵的損壞，保證真空泵的正常運轉必須使用除塵器。
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