工作在10-5Pa以上的超高真空機組有擴散泵、分子泵超高真空機組和無(wú)油超高真空機組.該機組有如下特點(diǎn):

①主泵極限真空度高，在10-7~10-8pa以上;

②能經(jīng)受200~450℃的高溫烘烤;

③主泵返流氣體的分壓力很低;

④對被抽氣體選擇性強的主泵，要配備足夠大的輔助泵;

⑤要求真空室、管道、閥門(mén)等部件的材料出氣率很低，漏氣率很小。

(1)擴散泵超高真空機組

以擴散泵為主泵的超高真空機組的極限真空度為10-7~10-8Pa。

為減少來(lái)自擴散泵前級的氣體反擴散和阻擋機械泵油的反擴散對極限真空度的影響，可在擴散泵前級申聯(lián)一臺抽速小的擴散泵，以降低壓縮比，減小反擴散。如在擴散泵進(jìn)氣口上邊增設鈦升華阱，可進(jìn)一步降低來(lái)自擴散泵的氮氣分壓力，能獲得10-11Pa的超高真空。

(2)分子泵超高真空機組

以分子泵為主泵的超高真空機組其極限真空度為10-8Pa，特點(diǎn)是啟動(dòng)快，油的污染小。

在機組內增加液氮冷阱，可以增大抽速。機械泵出口處設有水冷阱，可以防止油蒸氣進(jìn)入系統。

(3)無(wú)油超高真空機組

不用油做工作液和不用有機材料密封的真空機組稱(chēng)為無(wú)油超高真空機組。常用的主泵有低溫泵、鈦泵、濺射離子泵等，可得到極限真空度10-7~10-8Pa。與有油真空機組比較，它有如下優(yōu)點(diǎn):

①可獲得清潔真空、無(wú)污染源;

②當無(wú)油真空泵啟動(dòng)后，即可隔離預抽泵;

③如突然抽氣停止，不會(huì )污染系統;

④無(wú)油、無(wú)聲、無(wú)振動(dòng)，改善了工作環(huán)境;

⑤極限真空度高，抽速大，抽氣時(shí)間短。