油封式真空泵即旋片式真空泵，一般為真空機組的前級真空泵。這種泵是在60~100℃范圍內把各種不同的混合氣體壓縮到大氣壓并排放到排氣管中。如果泵內危害性產物的壓力、濃度、溫度都比較高，這些物質在泵及泵的附件內積存起來這些物質在排氣管道內同周圍空氣相接觸等等，都會構成潛在的危險。
半導體制造使用或產生的有害氣體，必須采取合適的測量方法，以防止著火和爆炸，保證設備的正常運行，防止操作人員、維修人員及服務人員發生急性或慢性中毒。為了安全起見，應配備抽力足夠大的合適真空泵和附件，并要求采用合理的操作和維護方法，配備適當的監控裝置。
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