選擇的真空泵工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求;每種泵都有一定的工作壓強范圍，泵的工作點應該選在這個范圍之內工作;檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。要對氣體的特性進行分析，如對腐蝕性，凝聚性等。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發生反應，泵系統將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體足。
真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量;確定系統真空容積。檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏�？紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率;正確地組合真空泵，確定主泵與前級泵合適的級比;在設計真空管道時，應盡可能采用短而粗的管線，一般管徑不小于真空泵的入口。
在真空系統的設計中.應提高系統的密封性，降低系統的泄漏率.要選擇合適的密封材料;液環真空泵的實際抽氣體積流量與工作液體有關。工作液越高，蒸汽分壓力越高，工作液對真空
泵進口蒸汽的冷凝效果越差，真空泵的抽氣體積流量越小。建議選擇飽和蒸氣壓較低的工作液.同時需控制工作液的溫度;對于抽除高凝固點物質的氣體，如丙三醇，八甲基環四硅氧烷和六甲基三硅氧烷等氣體，為避免這類氣體進入羅茨泵凝結沉積下來，需提高羅茨泵的溫度，如通入加熱的氮氣來提高泵溫;真空系統設計中要采用新技術，做到自動控制和聯鎖保護。
