二級型濺射離子泵在排除氬、氪和氙等惰性氣體時(shí),經(jīng)常會(huì )出現氬壓力循環(huán)上升的現象，即真空系統內德壓力突然脈沖式的上升然
后又下降，壓力變化幅度為10-2Pa數量級。這種現象稱(chēng)為“氬不穩定性”。給出了二級型噴濺離子泵在空氣壓力為10-3Pa時(shí)進(jìn)行數
百小時(shí)或在10-4Pa時(shí)進(jìn)行數千小時(shí)排氣后所出現的氬不穩定性。為克服這種現象，出現了各種改進(jìn)型的濺射離子泵的幾種改進(jìn)型結
構：
1）二極型泵結構簡(jiǎn)單，磁鐵的磁隙小，只是啟動(dòng)壓力低。如果不是在高壓力下啟動(dòng)而且對惰性氣體抽速無(wú)特殊要求，還是選用這種
泵好。
2）如果要求啟動(dòng)壓力高，可以采用三極型結構，或采用其他輔助辦法。三極型結構工藝復雜，如果是三電位，電源也復雜。
磁鐵的磁隙也大了。
3）如果為了抽除氬、氦，可以采用多孔型陰極。但在鉭板上打孔麻煩。從工藝上考慮，可以采用非對稱(chēng)型陰極。要從材料上考慮可
以采用二電位三極型。
4）磁控管型和端子板型都是為了提高對氬的抽速。放電強度、濺射能力都提高了，但工藝上困難較大。
5）幾種泵對各種氣體抽氣
能力相差較大，可按具體情況選用。
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