真空系統啟動時，要先用機械泵將系統抽至低真空，再接通擴散泵冷凝水.然后逐漸加熱使油沸騰并正�；亓骱笤賳�動油擴散泵。關閉油擴散泵時.需先切斷加熱器電源，待油停止沸騰后再關冷凝水，再關閉擴散泵前后兩個活塞，接著將機械泵的抽氣日通大氣后才能停機械泵.通常在機械泵和油擴散泵之前安一冷阱，以免有機物、水汽等雜質進入機械泵，影響泵的工作性能。冷阱的冷卻荊可按需要選用干冰、液氮等。

對玻璃真空系統的檢漏，使用高頻火花真空檢漏儀較方便。它是利用低壓強氣體在高頻電場中，發生感應放電時所產生的不同顏色，來大致估計真空度量級，以判斷系統是否漏氣。實際檢漏過程如下，啟動機械泵數分鐘后，系統的真空度可達1.333~13.33Pa。