冶金及化工生產中使用的壓縮機主要有往復真空泵和離心壓縮機兩種。由于離心壓縮機的基本結構和工作原理與離心鼓風機完全相同，故下面著重介紹往復真空泵。

往復真空泵的構造和工作原理與往復泵相似。它主要由氣缸、活塞、吸氣閥和排氣閥組成。

往復壓縮機是利用曲柄連桿機構，將驅動機的回轉運動變為活塞的往復運動，使氣體在氣缸內完成進氣、壓縮、排氣等過程，由進氣閥、排氣閥控制氣體進入和排出氣缸，達到提高氣體壓力的目的。

往復真空泵的基本結構和操作原理與往復壓縮機相同，只是真空泵在低壓下操作，氣缸內、外壓差很小，所用閥門必須更加輕巧、啟閉方便。另外，當所需達到的真空度較高時，如95%的真空度，則壓縮比約為20。這樣高的壓縮比，余隙中殘余氣體對真空泵的抽氣速率影響必然很大。為了減小余隙影響，在真空泵氣缸兩端之間設置一條平穩氣道，在活塞排氣終了時，使平穩氣道短時間連通，余隙中殘余氣體從一側流向另一側，以降低殘余氣體的壓力，減小余隙影響。